电动滑台应用于精密定位平台系统
发布时间：2018-07-02 12:06:16
电动滑台也叫精密定位平台、精密定位滑台。主要应用于工装夹取、移载、定位，自动化工作站，半导体设备、TFT-LCD液晶面板设备，太阳能设备，LED线上设备，机械内部XYZ轴工作平台、点胶、锁螺丝、视觉检测、量测设备等，高速高精度场所。
随着半导体光刻技术、微型机械、精密测量、超精密加工、微装配和纳米技术的迅速发展，对精密定位系统的行程、速度和精度等提出了越来越高的要求， 其控制精度在微米级，甚至纳米级的范围内。
精密运动系统是集精密位置检测技术、驱动技术、直线导向技术、控制技术为一体的有机综合体。其中，驱动控制技术直接决定了平台的速度、精度、行程和整个系统的效率。
在传统的定位技术中，常选用“伺服电机+滚珠丝杠”的方式，由于具有运动转换环节，不可避免地存在间隙误差，虽然经过预紧后可实现良好的传动精度，但使其达到纳米级精度代价不菲。
直线超声电机作为超声电机中的一类，利用压电元件的逆压电效应和弹性体的超声振动，通过定子和动子之间的摩擦作用，把弹性体的微幅振动转换成动子宏观的直线运动。
直线超声电机不仅能够直接产生直线运动和牵引力，而且具有结构简单、响应快、断电自锁、不受电磁干扰等特点，同时具有较大的行程以及纳米级的位移分辨率。
利用直线超声电机驱动的平台，具有传动链短、行程大、定位精度高、响应速度快等优点，使其逐渐成为精密驱动领域的理想驱动器。
超声电机由于其低速大扭矩和断电自锁的优点，在这些应用上都比电磁电机更加合适，使得它有广阔的应用前景， 因此超声电机在全世界范围内都引起了很大的关注。